半导体产业纵横 2026-11-08 14:01:31
原子级改材料!氧化铪给存储芯片打开新路径。
人工智能的蓬勃发展,催生了对高效数据存储方案的更高需求。圣路易斯华盛顿大学的研究团队没有依靠扩大存储体量来满足这一需求,而是另辟蹊径:通过在原子尺度调控材料特性,提升存储容量。
麦凯尔维工程学院机械工程与材料科学副教授罗汉·米什拉(Rohan Mishra)带领研究团队,在美国国家科学基金会的资助下攻关这一课题。团队结合计算建模、先进显微表征技术,并与内布拉斯加大学林肯分校、佐治亚理工学院等机构的科研人员开展实验合作,在材料特性机理研究上取得了突破性认识。
适配硅基晶体管的材料研发
米什拉的研究方向之一是氧化铪(HfO₂)——它是硅基晶体管内部的薄层绝缘材料。
如果这种材料具备铁电性,就能够维持可在外加电场作用下反转方向的电极化。更关键的是,撤去电场之后,材料依然可以记住极化方向。这一特性,让氧化铪成为存储器件的理想候选材料。
但难点在于:绝大多数材料在厚度极薄(小于10纳米,对比参考:人类头发直径约80000纳米)时,铁电性就会消失。不过德国一组研究人员发现,氧化铪是个例外:即便做到极薄,氧化铪依旧能展现出铁电特性。
“这个现象十分费解:氧化铪本身本不属于铁电材料,可一旦被制备成极薄薄膜,就突然具备了铁电性。”罗汉·米什拉表示,“我们一直想要解开这个谜题。”相关研究成果已经发表在《科学》(*Science*)期刊上。
为开展研究,米什拉团队联合内布拉斯加大学林肯分校的徐晓山(Xiaoshan Xu)课题组,在衬底上制备出排布有序的掺镧氧化铪单晶薄膜。
在米什拉指导下取得博士学位、如今任职于华盛顿大学的博士后任国栋(Guodong Ren),利用先进显微技术分辨出材料中一根根原子列,证实了这款超薄氧化铪薄膜的单晶结构。
随后,研究人员借助电子显微技术,确定单晶材料的物相与电学行为,实测结果和计算模型的预测高度吻合。
米什拉指出,研究带来的核心结论是:工程师不必强行把氧化铪调控成传统铁电相;更可行的方案是在薄膜中稳定其反铁电结构,再通过电场控制相变。
“与其违背材料本身的特性,不如制备高质量反铁电薄膜,在器件工作时实现电性切换。”米什拉解释道。反铁电材料还有另一大优势:储能密度高,可以用来制作高能量密度电容器。
计算建模、显微表征与实验的融合
米什拉团队的研究思路是:将原子尺度建模(计算原子体系的稳定性与物性),和合成材料的显微观测相互印证。
“实际制备出来的材料总会存在缺陷,我们的工作就是研究如何减少缺陷,生长出高质量薄膜。”米什拉说。
团队基于量子力学,从原子尺度建模、预判材料性能;再联合外部合作课题组,制备和模型预测高度匹配的材料。材料制备完成后,由任国栋从原子层面表征材料真实结构。
“国栋擅长把理论计算和显微表征结合起来,是少数能做到这个水准的研究者。”米什拉评价。
“显微图像是三维结构的二维投影,所以我们要结合显微观测与量子力学计算,还原材料真实结构。”他补充道。
任国栋同时也是另一篇论文的共同一作。该研究由米什拉、佐治亚理工学院的阿西夫·汗(Asif Khan)以及韩国蔚山国立科学技术院的李俊熙(Jun Hee Lee)共同牵头,发表于《先进材料》(*Advanced Materials*)。这项研究在氧化锆(ZrO₂,氧化铪的同类材料)中观测到面积极小的铁电畴,单个畴面积不足1平方纳米。
研究发现,每个畴内部的电极化都朝向固定方向;额外的氧原子能够平衡畴边界处的电荷。计算结果还预测:这些畴壁可以导电,并且能在外加偏压下移动。这意味着,这种原子级超薄畴壁,未来有望用作存储芯片的电子元器件。
任国栋很认可课题组这套研究铁电材料的综合性思路:“我们有难得的机会,把理论研究和原子尺度的显微实验结合在一起,从而更透彻地理解不同材料体系。”
两项研究共同传递了一个方向:工程师可以通过原子级调控材料,来操控器件的电学特性。米什拉和任国栋还提到一个利好:这类材料里,有一部分本身就已经应用在我们现在使用的硅芯片里,芯片厂商不需要额外新增元器件。
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发布时间:2026-11-08 11:25:18
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